本車間以"未來科技"為設(shè)計導向,嚴格遵循ISO14644-1Class5標準,打造高精度半導體制造環(huán)境??臻g采用淺灰金屬壁板與深灰防靜電格柵地板的冷色調(diào)組合,營造極具科技感的工業(yè)美學。
核心設(shè)計亮點:
圍護系統(tǒng):淺灰陽極氧化鋁金屬壁板,表面經(jīng)納米涂層處理,反射率精準控制在40%-50%,避免光干擾;
地面系統(tǒng):深灰鋁合金防靜電格柵地板,開放率≥60%,電阻值10^4~10^6Ω,下方設(shè)置2米深架空層,集成管線與FFU回風系統(tǒng);
空氣凈化:天花滿布FFU+ULPA超高效過濾器,換氣次數(shù)≥60次/h,維持0.45m/s垂直層流;
微環(huán)境控制:核心光刻區(qū)溫控精度±0.1℃,振動控制在VC-D級標準;
智能交互:AR虛擬巡檢系統(tǒng)與墻裝透明OLED數(shù)據(jù)看板,實時顯示18項工藝參數(shù)。
通過模塊化金屬結(jié)構(gòu)與智能化環(huán)境監(jiān)控的完美融合,為半導體制造提供超越摩爾定律要求的尖端生產(chǎn)環(huán)境。